авторефераты диссертаций БЕСПЛАТНАЯ БИБЛИОТЕКА РОССИИ

КОНФЕРЕНЦИИ, КНИГИ, ПОСОБИЯ, НАУЧНЫЕ ИЗДАНИЯ

<< ГЛАВНАЯ
АГРОИНЖЕНЕРИЯ
АСТРОНОМИЯ
БЕЗОПАСНОСТЬ
БИОЛОГИЯ
ЗЕМЛЯ
ИНФОРМАТИКА
ИСКУССТВОВЕДЕНИЕ
ИСТОРИЯ
КУЛЬТУРОЛОГИЯ
МАШИНОСТРОЕНИЕ
МЕДИЦИНА
МЕТАЛЛУРГИЯ
МЕХАНИКА
ПЕДАГОГИКА
ПОЛИТИКА
ПРИБОРОСТРОЕНИЕ
ПРОДОВОЛЬСТВИЕ
ПСИХОЛОГИЯ
РАДИОТЕХНИКА
СЕЛЬСКОЕ ХОЗЯЙСТВО
СОЦИОЛОГИЯ
СТРОИТЕЛЬСТВО
ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
ТРАНСПОРТ
ФАРМАЦЕВТИКА
ФИЗИКА
ФИЗИОЛОГИЯ
ФИЛОЛОГИЯ
ФИЛОСОФИЯ
ХИМИЯ
ЭКОНОМИКА
ЭЛЕКТРОТЕХНИКА
ЭНЕРГЕТИКА
ЮРИСПРУДЕНЦИЯ
ЯЗЫКОЗНАНИЕ
РАЗНОЕ
КОНТАКТЫ


Pages:     | 1 |   ...   | 4 | 5 ||

«ФИЗИКО-ТЕХНИЧЕСКИЙ ИНСТИТУТ ИМЕНИ А.Ф. ИОФФЕ ИНСТИТУТ ПРОБЛЕМ ТЕХНОЛОГИИ МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ И ОСОБОЧИСТЫХ МАТЕРИАЛОВ ИНСТИТУТ КРИСТАЛЛОГРАФИИ ИМ. А.В. ...»

-- [ Страница 6 ] --

спектра источника. Кроме того, в этой работе было проанализировано распространение Проиллюстрируем это утверждение на рентгеновского пучка, скользящего вдоль конкретном примере. На рисунке 1 представлены вогнутой сферической поверхности, в рассчитанное и наблюдаемые при разных углах зависимости от взаимного расположения поворота зеркала профили интенсивности пучка, источника и самой поверхности. Эти выходящего с задней кромки зеркала. Наличие теоретические результаты были подтверждены двух пиков на рассчитанной рассмотрено в [15].

как при численном моделировании, так и в Отклонения экспериментальных значений от эксперименте. теоретических определяются как реальной В настоящей работе рассматривается статистикой эксперимента, так и дефектами дальнейшее развитие способа изучения вогнутых обработки поверхности зеркала. Отметим поверхностей скользящим рентгеновским изменение положения резких минимумов на пучком для случая сферической поверхности. экспериментальных кривых. Именно это и Важной особенностью предлагаемого подтверждает идею о возможности определения подхода является возможность определения положения и размеров дефектов.

положения и размера дефектов обработки на Получение набора таких анализируемой поверхности. экспериментальных кривых, или теневых Действительно, рентгеновский пучок, проекций (по аналогии с томографией), при скользя вдоль вогнутой сферической различных угловых положениях зеркала может поверхности, будет поглощаться на всех позволить решить обратную задачу и встречаемых по пути дефектах обработки. восстановить распределение особенностей на Запуская пучок под разными углами поверхности. Принципиально данный метод (отвечающим повороту сферического зеркала аналогичен методу компьютерной томографии.

вокруг собственной оси симметрии), мы По этой причине методика проведения получаем принципиальную возможность эксперимента, а также обработка выявить расположение этих дефектов. Важно экспериментальных данных, создавались исходя кромку зеркала. Зеркало было изготовлено из из имеющегося опыта проведения плавленого кварца методом глубокой шлифовки томографических исследований. и полировки.

Перечислим ряд особенностей предлагаемого подхода, отличающего его от принятого в томографии. Во-первых, важна ориентация объекта (зеркала) при вращении (оси вращения и симметрии зеркала должны совпадать, иначе не будут выполняться условия наблюдения эффекта шепчущей галереи для всех угловых положений). Технически это решаемо с приемлемой точностью. Во-вторых, «прямой»

пучок, необходимый для нормировки измеренного распределения интенсивности скользящего пучка и, следовательно, для успешной реконструкции данных, экспериментально не измеряем. В связи с этим «прямой» пучок вычислялся из набора теневых Рис. 2. Схема экспериментальной установки: (а) проекций. В-третьих, результат эксперимента не вид сбоку, (б) вид сверху.

позволяет количественно оценить качество поверхности, т.к. причин ослабления пучка Его радиус кривизны – 25 см, диаметр – 6 см.

может быть одновременно несколько: Отметим, что угол раствора зеркала, т.е. угол поглощение, рассеяние, отражение под большим поворота пучка, равен 13.8o, что по нашим углом за счет локальной несферичности, расчетам соответствует среднему числу отражение с меньшим коэффициентом за счет отражений ~60. Над зеркалом помещался локального изменения оптических констант. Тем поглощающий экран для исключения попадания не менее, можно с уверенностью утверждать, что прямого пучка в окно детектора. Крепление меньшее значение восстанавливаемой величины экрана осуществлялось таким образом, чтобы коэффициента ослабления соответствует более при вращении зеркала во время эксперимента, качественной поверхности. В-четвертых, экран оставался неподвижным. Вплотную к траектории зондирующих лучей принципиально задней кромке зеркала располагался двумерный отличаются от аналогичных траекторий в детектор на основе ПЗС-матрицы, позволяющий томографии (параллельный или конический регистрировать распределение интенсивности пучки). Эти траектории были получены в вышедшего после многократных отражений аналитическом виде, что принципиально пучка. Детектор имел 2048х2048 ячеек размером позволяет адаптировать используемый нами 13х13 мкм, а полная длина/ширина матрицы алгебраический метод томографической равна 26.6 мм. Управление детектором и реконструкции для рассматриваемого случая. В гониометром производилось автоматически представленных результатах использовалось согласно заданной экспериментатором приближение параллельного пучка, которое программе. Данная установка практически можно считать приемлемым на данный момент.

эквивалентна описанной в [15]. Принципиальное Наконец, как показано в [15], при каждом отличие состоит лишь в возможности вращения выбранном угловом положении зеркала, зеркала вокруг собственной оси симметрии (оси скользящим пучком принципиально Z на рис.2).

засвечивается лишь часть поверхности зеркала.

Как было указано, непосредственным Это приводит к тому, что пространственное результатом измерений является серия разрешение неодинаково вдоль поверхности распределений интенсивности пучка, зеркала. В точках, расположенных в центре прошедшего вдоль зеркала, полученных при сферической поверхности и непрерывно разных угловых положениях зеркала (т.е. набор освещаемых пучком, разрешение выше, чем в теневых проекций). Этот набор одномерных крайних точках, которые зондируются пучком распределений удобно объединить в одно лишь в нескольких угловых положениях.

двумерное, которое отражает зависимость Схема экспериментальной установки теневых проекций от угла. Такое представление представлена на рис. 2. В качестве источника экспериментальных результатов в томографии использовалась рентгеновская трубка с принято называть синограммой.

молибденовым анодом и точечным фокусом Реконструкция экспериментальных данных (0.4х0.4 мм). Для обеспечения широкого позволяет получить распределение углового спектра пучка в эксперименте не коэффициентов ослабления на исследуемой использовались ни монохроматор, ни сферической поверхности. Для наглядности коллимирующие щели. Сферическое зеркало будем отображать эти поверхностные устанавливалось на автоматизированном распределения в проекции на плоскость XY (см.

гонимометре таким образом, чтобы пучок падал рис. 2).

по касательной на ближайшую к источнику Рис. 3. Синограмма (ось абсцисс – угол поворота зеркала, ось ординат – каналы детектора, степень почернения пропорциональна ослаблению пучка) и реконструкция (по осям отложены каналы детектора, степень почернения пропорциональна ослаблению пучка в данной области): (а) чистое зеркало;

(б) отпечаток пальца.

Первый эксперимент состоял в исследовании [2] Кожевников, И.В., Труды ФИАН, 196 (1989) поверхности зеркала без искусственно 143-167.

созданных областей, ослабляющих пучок. На [3] Bukreeva, I.N., Kozhevnikov, I.V., Vinogradov, рисунке 3а показаны результаты этого A.V., J. X-Ray Sci. Technol., 5 (1995) 396-419.

эксперимента и его реконструкции. Затем на [4] Оруджалиев М.Н., Бушуев В.А., ЖТФ, поверхности зеркала были размещены (1991) №2 51-57.

пластилиновые шарики диаметром ~2 мм. Этот [5] Kaihola, L. Appl. Optics, 20 (1981) 1269-1270.

эксперимент показал, что метод чувствителен к [6] Виноградов,А.В., Елинсон,В.М., Жилина,В.И.

следам, оставленным пластилином. После чего и др., Доклады АН СССР, 292 (1987) 594-596.

были получены наиболее интересные и [7] Виноградов, А.В., Елинсон, В.М., неожиданные результаты – реконструкция Кожевников, И.В. и др., Оптика и спектроскопия, отпечатка пальца (см. рис. 3б), сделанного в 67 (1989) 206-209.

центре зеркала. Отметим, что отпечаток был [8] Aleksandrov, Yu.M., Bukreeva, I.N., поставлен чистым пальцем. Vinogradov, A.V. et al, J. Sov. Laser Research, Приведенные результаты подтверждают (1992) 400-416.

работоспособность предложенного метода. [9] Ostashev, V.I., Asadchikov, V.E., Bukreeva, I.N.

Достигнутое пространственное разрешение на et al, Optics Commun., 155 (1998) 17-22.

данный момент составляет около ~50 мкм. [10] Аркадьев, В.А., Кумахов, М.А., Предполагается, что изменение некоторых Поверхность: Физика, химия, механика, геометрических параметров эксперимента, а (1986) 25-32.

также точный учет траекторий зондирующих [11] Chien, L., Golovchenko, J.A., Phys.Rev.Lett., лучей при восстановлении данных, позволят 79 (1997) существенно улучшить качество реконструкции. [12] Bukreeva, I.N., Kozhevnikov, I.V., Physica B, Авторы выражают благодарность И.В. 198 (1994) 13-15.

Кожевникову за обсуждение результатов, ценные [13] Асадчиков, В.Е., Букреева, И.Н., советы и замечания. Виноградов, А.В. и др., Квантовая электроника, 24 (1997) 845-850.

[14] Bukreeva, I.N., Asadchikov, V.E., Gilev, O.N.

[1] Зеркальная рентгеновская оптика. Под ред. et al, Proc. SPIE, 3739 (1999) 395-403.

А.В.Виноградова. Л.: Машиностроение, 1989, [15] Якимчук, И.В., Рощин, Б.С., Кожевников 463 с. И.В. и др., Кристаллография, 53 (2008) №6 111 1117.

СПИСОК ОРГАНИЗАЦИЙ – УЧАСТНИКОВ СЕМИНАРА Институты Российской Академии Наук 1. Институт кристаллографии им. А.В. Шубникова, Москва 2. НИЦ "Космическое материаловедение" Института кристаллографии РАН, Калуга 3. Центр синхротронного излучения, РНЦ «Курчатовский институт», Москва 4. Физико-технологический институт РАН, Москва 5. Институт проблем передачи информации им. А.А. Харкевича, Москва 6. Российский фонд фундаментальных исследований, Москва 7. Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН, Черноголовка, Московская область 8. Институт физики твердого тела РАН, Черноголовка, Московская область 9. Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург 10. Отдел математики Коми НЦ УрО РАН, Сыктывкар 11. Институт спектроскопии РАН, Троицк, Московская область 12. Технологический институт сверхтвердых и углеродных материалов, Троицк 13. Институт мониторинга климатических и экологических проблем СО РАН, Томск 14. Институт систем обработки изображений РАН, Самара, Россия 15. Институт проблем механики РАН, Санкт-Петербург, Россия Университеты России 1. Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова, Москва 2. Московский государственный институт электронной техники, Москва-Зеленоград 3. Московский государственный институт электроники и математики, Москва 4. Московский институт стали и сплавов, Москва 5. Санкт-Петербургский государственный университет, Санкт-Петербург 6. Новгородский государственный университет им. Ярослава Мудрого, Великий Новгород 7. Псковский государственный педагогический университет им. С.М. Кирова, Псков 8. Московский государственный институт электронной техники, Москва-Зеленоград 9. Новгородский филиал Санкт-Петербургского государственного университета сервиса и экономики 10. Воронежский государственный университет, Воронеж, Россия 11. Министерство народного образования Узбекистана, Нукус, Каракаплпанстан 12. Самарский государственный аэрокосмический университет им. академика С.П. Королева (национальный исследовательский университет), Самара, Россия 1. ООО «ПТЦ УралАлмазИнвест» Москва, Россия 2. ОАО Фомос-Материалс, Москва, Россия 3. ООО «Брукер», Москва, Россия Редакции академических научных журналов Журнал «Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования», Москва;

Журнал «Заводская лаборатория. Диагностика материалов», г. Москва;

Журнал « Письма в ЖТФ», г. Санкт-Петербург.

Зарубежные научные и учебные центры 1. Институт физики полупроводников им. В.Е. Лашкарева НАН Украины, Киев, Украина 2. Deutsches Elektronen-Synchrotron DESY, Hamburg, Germany 3. Школа физики и астрономии Университета Сент-Эндрюса, Шотландия 4. SIMaP, CNRS-Grenoble-INP, 38402, Saint-Martin d'Heres, France 5. Diamond Light Source Rutherford Appleton Laboratory Chilton, UK 6. University of Arkansas, Department of Physics, Fayetteville, Arkansas 72701, USA АЛФАВИТНЫЙ УКАЗАТЕЛЬ АВТОРОВ № Фамилия И.О. Страницы № Фамилия И.О. Страницы 1 Андреев А.В. 141 53 Кугаенко О.М. 2 Андреева М.А. 19, 22 54 Кузмеров Ю.А. 3 Анисимов В.Г. 25 55 Кукушкин С.А. 4 Антипов В.В. 28 56 Кузнецов М.С. 5 Асадчиков В.Е. 29, 37, 50, 55, 79, 57 Кучук А.В. 6 Балин В.А 30 58 Литвин П.М. 7 Байдакова М.В. 44 59 Ловыгин М.В. 8 Беляев А.Е. 112 60 Ломов А.А. 30, 9 Бланк В.Д. 98 61 Лукин К.Г. 10 Благов А.Е. 33, 76 62 Малинкович М.Д. 11 Боргардт Н.И. 36 63 Манцызов Б.И. 12 Бузанов О.А. 68 64 Мартюшов С.Ю. 13 Бузмаков А.В. 37, 55, 141 65 Марченков Н.В. 14 Букреева И.Н. 79, 134 66 Мачулин В.Ф. 15 Бушуев В.А. 39, 42 67 Мезенцев А.Л. 16 Быков А.С. 28 68 Минеев Е.В. 17 Бютье Г. 84 69 Мищенко И.Н. 18 Васильев А.Л. 30, 46 70 Мулявко Г.Т. 19 Вальковский Г.А. 44 71 Мясоедов А.В. 20 Вартанянц И. 52 72 Налимов А.Г. 79, 21 Векерт Е. 54 73 Некипелов С.В. 22 Верозубова Г.А. 93 74 Николаев Д.П. 23 Веселов Н.В. 87 75 Нисбет Г. 24 Волков Р.Л. 102 76 Овчинникова Е.Н. 84, 25 Волков Ю.О. 50 77 Одинцова Е.Е. 26 Волошин А.Э. 55 78 Окунев А.О. 27 Григорьева А.Г. 71 79 Орешко А.П. 84, 28 Гудыменко А.И. 112 80 Орлов М.А. 29 Данильчук Л.Н. 25 81 Осипов А.В. О'Фаолайн Л.

30 Денисов В.Н. 98 82 31 Домашевская Э.П. 22 83 Петраков В.С. 32 Дмитриенко В.Е. 84, 95 84 Петров М.Н. 33 Дьякова Ю.А. 134 85 Петрова О.В. 34 Егоров В.Н. 68 86 Писаревский Ю.В. 35 Ефанов А.М. 52, 54 87 Приходько А.С. 36 Жуковская И.А. 116, 125, 129 88 Просеков П.А. 37 Задиранов Ю.М. 44 89 Прохоров И.А. 107, 38 Золотов Д.В. 55 90 Поляков С.Н. 39 Калмыков Е.А. 87 91 Пунегов В.И. 40 Камалов О. 28 92 Роддатис В.В. 41 Карасев В.Ю. 55 94 Рощин Б.С. 42 Карпов А.В. 58 95 Сагалова Т.Б. 43 Кедало К.А. 61 96 Сафрюк Н.В. 44 Кладько В.П. 112 97 Сахаров С.А. 45 Ковальчук М.В. 33 98 Серебряков Ю.А. 46 Кожевников И.В. 50, 64 99 Серегин А.Ю. 76, 47 Коллинз С.П. 84 100 Сивков В.Н. 48 Кондратьева М.Н. 71 101 Ситникова А.А. 49 Кон В.Г. 66 102 Скорынин А.А. 50 Конников С.Г. 44 103 Смирнова И.А. 51 Котляр В.В. 79,90 104 Сойфер В.А. 52 Крылов С.А. 68 105 Соловьев В.Г. 106 Сорокин Л.М. 87 123 Чембелеева М.А. 107 Сташенко В.А. 94 124 Чуев М.А. 108 Стрелов В.И. 138 125 Чукалина М.В. 37, 109 Суворов Э.В. 115 126 Шанина М.И. 110 Таргонский А.В. 33 127 Шараева А.В. 125, 111 Терентьев С.А. 98 128 Шульпина И.Л. 112 Терехов В.А. 22 129 Якимчук И.В. 113 Терещенко Е.Ю. 134 130 Яговкина М.А. 44, 114 Ткаль В.А. 116, 125, 129 115 Трифонов С.В. 71 116 Трофимов А.Ю. 93 117 Турищев С.Ю. 22 118 Уварова С.С. 68 119 Феоктистов Н.А. 87 120 Филатова Е.О. 50 121 Фокин А.В. 71 122 Цвигун Н.В. 79 Научное издание СОВРЕМЕННЫЕ МЕТОДЫ АНАЛИЗА ДИФРАКЦИОННЫХ ДАННЫХ (дифракционные методы для нанотехнологии) Сборник материалов и программа Третьей международной молодёжной научной школы-семинара 12–16 сентября 2011 года Составители:

Ткаль Валерий Алексеевич Материалы публикуются в авторской редакции.

Оригинал-макет подготовлен кафедрой математических и естественнонаучных дисциплин Новгородского филиала Санкт Петербургского государственного университета сервиса и экономики Изд. лиц. ЛР № 020815 от 21.09. Подписано в печать 10.07.2011. Бумага офсетная. Формат 6084 1/8.

Гарнитура Times New Roman. Печать офсетная.

Усл. печ. л. 17,4. Уч.-изд. л. 18,8. Тираж 130 экз. Заказ № Отпечатано в ЗАО «Новгородский технопарк».

173003, Великий Новгород, ул. Б. Санкт-Петербургская, 41, Тел. (8162) 737676.



Pages:     | 1 |   ...   | 4 | 5 ||
 





 
© 2013 www.libed.ru - «Бесплатная библиотека научно-практических конференций»

Материалы этого сайта размещены для ознакомления, все права принадлежат их авторам.
Если Вы не согласны с тем, что Ваш материал размещён на этом сайте, пожалуйста, напишите нам, мы в течении 1-2 рабочих дней удалим его.