авторефераты диссертаций БЕСПЛАТНАЯ БИБЛИОТЕКА РОССИИ

КОНФЕРЕНЦИИ, КНИГИ, ПОСОБИЯ, НАУЧНЫЕ ИЗДАНИЯ

<< ГЛАВНАЯ
АГРОИНЖЕНЕРИЯ
АСТРОНОМИЯ
БЕЗОПАСНОСТЬ
БИОЛОГИЯ
ЗЕМЛЯ
ИНФОРМАТИКА
ИСКУССТВОВЕДЕНИЕ
ИСТОРИЯ
КУЛЬТУРОЛОГИЯ
МАШИНОСТРОЕНИЕ
МЕДИЦИНА
МЕТАЛЛУРГИЯ
МЕХАНИКА
ПЕДАГОГИКА
ПОЛИТИКА
ПРИБОРОСТРОЕНИЕ
ПРОДОВОЛЬСТВИЕ
ПСИХОЛОГИЯ
РАДИОТЕХНИКА
СЕЛЬСКОЕ ХОЗЯЙСТВО
СОЦИОЛОГИЯ
СТРОИТЕЛЬСТВО
ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
ТРАНСПОРТ
ФАРМАЦЕВТИКА
ФИЗИКА
ФИЗИОЛОГИЯ
ФИЛОЛОГИЯ
ФИЛОСОФИЯ
ХИМИЯ
ЭКОНОМИКА
ЭЛЕКТРОТЕХНИКА
ЭНЕРГЕТИКА
ЮРИСПРУДЕНЦИЯ
ЯЗЫКОЗНАНИЕ
РАЗНОЕ
КОНТАКТЫ


Pages:     | 1 |   ...   | 5 | 6 || 8 | 9 |   ...   | 18 |

«Стратегия выбора 50 лет Киевскому НИИ Микроприборов (1962 - 2012) Киев - 2012 Стратегия выбора 50 лет Киевскому ...»

-- [ Страница 7 ] --

Вот откуда начались мои контакты с военными заказчиками, руководством и ведущими сотрудниками ЦНИИИ № 22 МО СССР и 5 ГУ МО СССР. И именно тогда в моём коллективе появились Август Васильевич Каминский и Юрий Борисович Лимонт, уже имевшие опыт работы в области надёжности и испытаний радиотехнических изделий на других предприятиях оборонного профиля. Летом 1964 года произошло ещё одно приятное событие: мой директор и общественные организации вышли с ходатайством о выделении мне жилья, и на молодую семью из трёх человек мы получили небольшую, но уютную однокомнатную квартиру на 4-м этаже нового пятиэтажного кирпичного дома напротив известного Бабьего Яра.

Между тем, моя карьера складывалась удачно, хотя вначале я и не предполагал, что придётся заниматься организаторской деятельностью. В качестве начальника лаборатории я проработал два года, приобрёл хороший опыт и в научно производственных вопросах, и в общении с людьми. В середине первой недели июля 1966 года директор пригласил меня к себе и в присутствии главного инженера В.Д.

Борисенко и секретаря парткома В.Т. Бондаря вдруг предложил мне, тогда ещё 27 летнему комсомольцу (!), в течение нескольких дней подготовить структуру, положение и приказ о создании отдела надёжности и испытаний № 100 под моим руководством. Честное слово, это было громом средь ясного неба. Но, как принято говорить, я не ударил в грязь лицом, и, плотно посоветовавшись со своими коллегами, сидя на травке Бабьего Яра, под тёплым летним солнышком за выходные дни подготовил все необходимые документы. Приказ был подписан во вторник следующей недели, и с этого же дня - 12 июля я стал начальником отдела № 100.

Мало того, нашему подразделению сразу же пришлось осваивать новые производственные площади НИИ, построенные к этому времени у самого леса на Нивках. Правда, это был пока лишь один двухэтажный кирпичный корпус на неохраняемой территории, половину которого отдали нам, но рядом уже достраивалось огромное здание НИИ, в подвале которого впоследствии разместилась наша испытательная база. Отдел, которым мне довелось руководить в течение следующих четырёх лет, был комплексным. Мне очень приятно отметить, что все работы по автоматизированному проектированию топологии интегральных схем и разводке печатных плат (впоследствии – САПР), статистическому анализу производства, неразрушающему контролю с помощью оптических, рентгенотелевизионных, инфракрасных приборов, первым исследованиям радиационной стойкости ИС, анализу отказов были заложены и долго проводились в нашем отделе. В нашем коллективе выросли и впоследствии стали руководителями отделов и лабораторий соответствующего профиля в НИИ микроприборов и на других предприятиях Киева: И.В. Барсук, В.Г. Табарный, В.Л. Големенков, А.А.

Молчанов, Е.С. Шевченко, В.А. Денисюк, А.И. Рунов, А.А. Дунаев, Е.И. Семенович, В.П. Сталоверов и другие. Широкий спектр вопросов, входящих в компетенцию нашего отдела, обусловил поручение мне руководить разработкой проектов ряда нормалей и стандартов МЭП СССР в качестве главного конструктора ОКР «Нормаль». В этой работе были документально оформлены типовые технологические процессы напыления элементов гибридных ИС, руководящие технические материалы по требованиям к пассивной части ИС, а также к устанавливаемым на подложки активным элементам, методика расчёта поверхностных паразитных связей на подложке. Под моим руководством в научно исследовательской работе «Каньон» впервые был разработана и применена испытательная установка для автоматизированного измерения и регистрации статистических параметров ИС с помощью цифровой печати. Именно в этой прикладной НИР при контроле качества КМОП ИС после некоторых технологических процессов, а также при анализе отказов во время испытаний были применены современные физико-технические методы и устройства дефектоскопии.

Речь идёт о визуальной дефектоскопии с помощью оптического, а также сканирующего электронного микроскопа, рентгенодефектоскопии с помощью усовершенствованного рентгенотелевизионного микроскопа и тепловизионной дефектоскопии с помощью установки для регистрации инфракрасного излучения поверхности микросхем ЭМ-612. Кстати, идея разработки инфракрасного радиометра ЭМ-612, как элемента системы неразрушающего контроля, возникла в нашем же отделе, и его главным конструктором стал наш ведущий инженер Александр Иванович Рунов, тоже окончивший ХАИ и с моей помощью перешедший к нам из института «Гидроприбор». В НИР «Каньон» нашими инженерами были впервые разработаны программы обработки больших массивов данных измерений, полученных при испытаниях, с помощью малой ЭЦВМ «Промінь-М», имевшейся в отделе. Как отмечалось в акте комиссии по приёмке НИР, суммарная наработка ИС в процессе испытаний на надёжность составила 1028500 часов, а с учётом разработанных методик контроля параметров и их количества массивы данных измерений по тем временам были огромны – десятки миллиардов значений. Ряд сотрудников моего отдела за эти годы стали кандидатами, а Александр Молчанов – доктором технических наук.

Я с благодарностью своим начальникам за доверие, науку и с гордостью за достижения коллектива отдела № 100 рассказываю об этом периоде своей жизни.

Конечно, никоим образом эта информация не означает, что наш коллектив - чуть ли не основной в НИИ. Мне просто хочется, чтобы читатели поняли, как мы все в то время работали, как жили, как любили свою работу, как, не боясь трудностей, брались за любое новое дело, с каким уважением относились друг к другу. Были в моей работе и упущения, и бессонные ночи, когда приходилось с ближайшими сподвижниками срочно устранять последствия своих же «ляпов». Получил я также за эти 6 лет работы в качестве руководителя лабораторией и отделом огромный опыт, позволивший в скором будущем проявить себя в ещё более интересном и сложном деле.

Пока же наш отдел старался не отставать от времени, мы росли численно, структурно, у нас появилось современное испытательное оборудование. Большое значение приобрело налаженное Центром микроэлектроники взаимодействие подразделений надёжности всех предприятий МЭП, у меня установились тесные деловые связи с коллегами из Москвы, Зеленограда, Ленинграда, Гатчины, Минска, Вильнюса, Риги, Горького, Кишинёва, Тбилиси. Я не раз бывал в служебных командировках в этих городах. В те годы существовала практика нашего взаимного участия в работе Государственных комиссий по приёмке НИР и ОКР, выполняемых на родственных предприятиях. В общем, это был очень интересный период в моей жизни. При этом каждый год удавалось где-нибудь отдыхать, и я могу откровенно признаться, что в советское время зарплаты двух членов семьи вполне хватало на отдых с ребёнком в любой профсоюзной здравнице страны.

Теперь расскажу ещё об одной стороне своей деятельности в те годы. В году начался мой кандидатский стаж в КПСС. В качестве партийного поручения мне было предложено возглавить редакцию нашей институтской газеты «Ангстрем». До меня её возглавляли Юрий Александрович Петин, ставший впоследствии учёным секретарём, и Валентин Петрович Захаров, будущий заместитель главного инженера института, оба - кандидаты наук, давшие так много отечественной микроэлектронике, но заодно прекрасно проявившие себя и на поприще главных редакторов газеты. Эта газета была рукописной, т.е. статьи в ней печатались на пишущей машинке, затем клеились на листы ватманской бумаги формата А1, скреплявшиеся по короткой стороне друг с другом, на этих же листах нашими художниками рисовались иллюстрации. Обычно выпускалось не более 6 выпусков в год, но зато материалы были очень интересными, их всегда было много, так что некоторые выпуски газеты размещались на 12 – 15 соединённых вместе листах ватмана! Я вначале с опаской взялся за новое дело, но мне пришлось проработать с этой «нагрузкой» до весны 1971 года, и я ничуть об этом не жалею. Ведь сам процесс определения тематики и наполнения каждой составной части или рубрики будущей газеты, подготовка намеченных к опубликованию материалов, поиск интервьюируемых, придумывание собственных, редакционных заметок, обсуждение новых идей зачастую превращался в длительные посиделки. Наверное, в этом смысле наша работа была очень похожа на деятельность настоящих редакций, но отличие всё же было существенным. У нас всё заканчивалось принятием коллегиального решения, ни я, ни предыдущие редакторы никогда не «давили» на своих коллег, наоборот, чаще всего мы соглашались с мнением друзей, потому что это мнение действительно было справедливым.

Моя деятельность, как я уже говорил, являлась партийным поручением, совершенно не привела к тупой демагогии. В наших материалах, наряду с серьёзными тезисами, была масса шуток, юмористических статей, критических заметок, посвящённых ведущим сотрудникам и руководству нашего предприятия.

Члены партбюро НИИ, а затем парткома объединения, конечно, перед развешиванием газеты просматривали наши материалы. Были иногда с их стороны и непонимание, и предложение что-либо изменить, но мы всегда спокойно аргументировали свою позицию, а поскольку газета утром следующего дня уже должна была висеть в огромном холле нового здания института, времени на устранение замечаний не оставалось. Честное слово, нам, членам редколлегии, было приятно наблюдать, с каким неподдельным интересом читали очередной выпуск «Ангстрема» сотрудники НИИ, а затем и КЗПП, когда все производственные здания НПО «Кристалл» соединились одним сквозным переходом. Самые тёплые воспоминания храню я об интересной совместной и полезной работе в институтской газете с Сергеем Стрельцовым, Виктором Гудименко, Юрием Петиным, Валентином Захаровым, Валерием Атаманенко, Валерием Айвазовым, Юрием Польским и другими талантливыми сотрудниками. Могу ещё отметить, что каждый очередной год нашей работы отличался всё более возрастающим количеством критических статей и остротой их содержания. Предваряя один из очередных выпусков рубрики «Их разыскивает…редколлегия», мы поместили, на всякий случай, такую заметку:

«От Редколлегии: Старая редколлегия «Ангстрема», воспользовавшись удобным случаем, решила напомнить о себе коллективу института и отдельным лицам, которые в их времена были героями.

Старая редколлегия надеется, что этот её шаг будет правильно понят администрацией, парткомом, профкомом, комитетом комсомола, сектором управления НИИ и другими компетентными органами, и считает, что следующий случай будет неудобным для всех, кто упомянут ниже, но также и для редколлегии. Хотя, скорее всего, такого следующего случая может и вовсе не быть…»

Дело в том, что «упомянутые лица» были из числа тех, кого знал весь институт, и не всегда по причинам выдающихся достижений в науке. Одного здоровенного, закоренелого холостяка средних лет мы разыскивали «за недопонимание возрастного нюанса в известном выражении «надежды юношей питают», которым он руководствовался в повседневной деятельности». Одного из заместителей директора и начальника I-го отдела объявили в розыск «за укрывательство многосерийного оперативно-любительского фильма по истории КНИИМП». Один из пришедших к нам остепенённых теоретиков, ратовавший за переход к разработке ИС в области СВЧ, мы приглашали явиться с повинной не «за», а «для установления пограничного столба на частотной границе». Но ведь тогда указывались конкретные фамилии, а реакция «упомянутых товарищей» была различной, от благодарно-довольной до откровенно разгневанной.

Юбилейный номер «Ангстрема» выпущен. 1982 год. КНИИ МП - 20 лет Редколлегия «Ангстрема» сделала своё дело.

Слева направо: В.Захаров, В. Белевский, Г.Апреленко, Ю.Петин. Здесь нет многих, кто принимал участие в выпуске этого номера: В.Гудименко, В.Атаманенко, В.Айвазова, Ю.Польского, Ю.Цымбалиста, авторов и «примкнувших» к редколлегии остроумных и находчивых.

Была ещё интересная рубрика «Толковый этимологический словарь», в котором мы придумывали сложные слова на основе фамилий наших известных сотрудников, создавая новые понятия, и сами же писали шуточные расшифровки этих понятий.

Например, было в этом словаре слово «Конфузик», что означало – «необоснованное обращение к пану А.А. Кононенко (главному метрологу) по вопросам службы пана А.Ф.Фузика (главного энергетика)». Или вот выражение «Аморалёвские поступки» - это, конечно, «поступки, направленные против нашего директора С.А. Моралёва». Понятие «Ряполовецкие пляски» - «собственные пляски начальника отдела А.А. Ряполова под его же собственную дудку». Чересчур ревностное отношение к своим обязанностям нашего главного пожарника по фамилии Ляпичев дало следующую трактовку понятия «Ляпичевизация»: «системная автоматизация производства СБИС (сверхбольших интегральных схем) внедрением в технологические процессы огнетушителей». А вот интересное пояснение сущности сразу трёх понятий: «Кибалистика» - начальный этап траектории схемотехнических НИР и ОКР (от фамилии Кибальчич В.И. - заместитель главного инженера;

«Мартынерия» - средний этап траектории этих же НИР и ОКР (от фамилии Мартынюк А.А. - начальник головного разрабатывающего отдела);

«Цымбалистика» - завершающий этап траектории этих же НИР и ОКР (от моей фамилии начальника отдела надёжности и испытаний).

Кстати, эти три сложных слова и объяснение их значений придумал Сергей Афанасьевич Стрельцов, также пришедший одним из первых в КБ-3 в качестве разработчика принципиальных электрических схем и аппаратуры, и её элементов.

Мы с ним подружились вначале на поприще чисто деловом (он - схемотехник, я конструктор), а затем сблизились и на совместной любви к искусству. Так получилось, что Сергей по своему желанию перешёл работать ко мне вначале ведущим инженером в отдел надёжности, а затем начальником лаборатории в специализированный отдел в 1970 году. Именно он был руководителем нашей первой ОКР и основным разработчиком цифровых приборов и их составных частей в интересах нашего заказчика. Умный, интеллигентный, организованный сам и умеющий организовывать других, пишущий стихи, обладающий чувством юмора, он мне очень импонировал. У нас с ним даже есть стихи, написанные «тандемом».

В майском, 1970 года, выпуске «Ангстрема» редколлегия опубликовала ответы некоторых сотрудников касательно прогнозов будущего положения нашего института. Я не стану называть фамилий интервьюированных, поскольку интерес представляют именно прогнозы, а не люди, их высказавшие. Вот некоторые из них:

- по площади НИИ (с заводом) превзойдёт Монако, Люксембург и ещё какое нибудь иностранное государство, вместе взятые;

- это будет одна большая кнопка и - тысячи железнодорожных составов, гружённых микросхемами, уходящих вдаль и вверх по спирали;

- это будет Фирма, очень могучая Фирма;

- это будет похоже на старого мужа (КНИИМП) с молодой женой (заводом);

- его (института) не будет вообще, но на его базе возникнет много новых предприятий.

Теперь объясню, зачем я процитировал эти прогнозы. Мне довелось посетить родное предприятие вместе с его бывшим директором и моим другом Владимиром Фёдоровичем Зубашичем три года назад. Бог мой, никогда не забуду увиденного.

Несколько раз я смотрел передачи «Момент истины» Андрея Караулова о многих вопиющих фактах сознательного разрушения «новыми русскими» с благословения «младореформаторов» большого количества бывших ведущих предприятий России, но всё это было, как в кино. А то, во что превратились увиденные нами своими глазами, бывшие совсем недавно образцово-показательными, корпуса комплекса КНИИМП и опытного завода на Нивках, нельзя и назвать словами. ГРЕХ, тяжкий, огромный, непростительный ГРЕХ совершили все, кто приложил руку к уничтожению построенного по современнейшему проекту, удостоенному Государственной премии Совета Министров СССР, отечественного форпоста микроэлектроники в Украине. Даже на наших глазах какие-то мужики беспардонно и аккуратно воровали чудом уцелевшие на первом этаже главного производственного корпуса воздуховоды большого диаметра!

Можно ненавидеть политический строй, можно не уважать государственных деятелей, но разве сможет существовать любое государство без науки, промышленности, сельского хозяйства, культуры и искусства, если, пусть даже при такой нелюбимой плановой системе хозяйствования, всё построенное, созданное, выращенное огромным трудом, взять и развалить в момент, выгнав десятки, сотни тысяч людей на улицу?! Даю честное слово, увиденные раскуроченные внутренности основного корпуса НИИ очень были похожи на искорёженные адским взрывом внутренности подводной лодки «Курск». Сколько же десятилетий понадобится теперь последующим поколениям, чтобы залечить эти страшные раны бездумного, варварского перехода к «сияющим вершинам» мирового капитализма путём срочного «евроремонта» так и не построенного в СССР социализма с человеческим лицом? Никто не сможет дать ответ на этот вопрос, потому что никто толком не знает, как себя поведёт сам капитализм. Очень может быть, что никто и не станет восстанавливать построенное ранее, а общество превратится лишь в продавцов и покупателей. Разве в самом страшном сне самые выдающиеся экономисты мира могли увидеть грянувший экономический кризис такого масштаба? И какие же прелести высочайшей западной демократии и свободного рынка могут теперь завлечь в треснувшее от пресыщения чрево капитализма отчаявшихся найти своё место в таком мире людей?

Время шло, и вот я - начальник специализированного отдела, причём, в конце июня 1970 года мы, первые 5 штатных сотрудников только что созданного подразделения, вернулись в «родные пенаты» на улицу Глубочицкую, 43, с которых началась история КБ-3 и КНИИМП. Я занял бывший кабинет директора С.А.

Моралёва, мой заместитель Валерий Константинович Литвиненко - кабинет главного инженера В.Д. Борисенко.

И началась совсем другая по сложности и ответственности работа, времени на раскачку не было, мы энергично стали обрастать специалистами, постепенно определяя рамки тематики и вырабатывая тактику в отношениях с заказчиком.

Ведомство заказчика было одно, но направлений деятельности – десятки. Поэтому примерно через полгода, когда у нас более или менее утряслась структура, когда мы уже располагали тремя десятками хороших разработчиков РЭА, конструкторов, технологов и несколькими прекрасными рабочими нужных нам различных специальностей, мы взялись за ряд прикладных среднесрочных НИР и одну короткую ОКР. Такой подход был верным, так как только на конкретных работах можно было сплотить коллектив, отработать связи с заказчиком, но главное – построить грамотную систему взаимоотношений с общими службами института и объединения. Поскольку все работы в интересах нашего заказчика относились к категории важнейших, любые сбои были чреваты неприятностями не только для нашего отдела, но и для НИИ, и для НПО, и для Девятого, а затем Второго Главных управлений МЭП СССР, к которому относилось наше предприятие. О серьёзности нашей тематики говорит и факт наличия на нашей площадке специальной военной приёмки.

Я уже писал выше, что первый блин не был для нас комом, мы хорошо выполнили первую ОКР, которой руководил Сергей Афанасьевич Стрельцов, вскоре освоили изделие в производстве и начали поставки малых партий разработанного изделия в службы заказчика. Первые НИР имели также приборостроительный характер, поэтому с каждым новым этапом определялись всё новые «узкие места» в деятельности служб снабжения, комплектации, оборудования, измерительной техники НИИ и объединения. Это послужило причиной необходимости создавать небольшие группы сотрудников, дублирующих эти функции, но по совершенно другой номенклатуре. Наши заказы были столь наукоёмкими и сложными, что номенклатура комплектующих изделий и перечень материалов, необходимых нам, была количественно равна таким же номенклатуре и перечню для института в целом.

Начались определённые трения с руководителями перечисленных служб, которые усугублялись общим ухудшением отношений между предприятиями, теперь уже в рамках объединения. Именно в начале 1970 года, наконец, решился, вопрос о создании научно-производственного объединения «Кристалл», во главе которого стал КНИИМП.

Сергей Стрельцов написал по этому поводу коротенькое стихотворение, помещённое в мартовском выпуске газеты «Ангстрем».

К 0-летию воссоединения занаряженных диффузионных печей ЗаКРИСТАЛЛился снежок, Истирая грани – Где попавши под каток, Зима набросила фату На жениха с невестой Уоркер ПОЛУПРОВОДНИК С МИКРОСХЕМОЙ Бонной Породнились в этот миг Организационно.

«В одну сторону веду, А другой - ни с места».

Бей же в бубен, красный гость, Погулять охота!

Будь сегодня праздновость, А завтра работа!

Генеральным директором НПО был назначен директор нашего института Станислав Алексеевич Моралёв. Процесс притирания предприятий внутри объединения был очень трудным и болезненным, и стоил Моралёву огромных затрат нервной энергии и здоровья, хотя ко времени создания НПО ему был всего 41 год.

Как бы там ни было, но первые три года работы нового подразделения для нас пролетели незаметно и интересно, потому как постоянно возникающие новые проблемы требовали напряжения мыслей и сил. У меня на сей счёт написано стихотворение, в котором, собственно, изложена история моего с коллегами «второго пришествия» на нашу первую, старую производственную площадку, почему-то впоследствии получившую №2.

Начало (1973 г.) Когда подольское казачество гуляло.

С монашками на праздник в Покровах, Уже тогда Глубочицкая стала Той улицей, что наводила страх.

Во-первых, рек подземных быстротечье Заставило стать Нижним Верхний Вал.

А, во-вторых, на самом неудобном месте Вдруг появился чей-то филиал, Который конкурентом стал «Метизу»

В вопросах потребленья шницелей, И скопищем не сданных по ленд-лизу Останков «Студебеккеров», «Фордей».

А время шло. С вокзала шли трамваи На Куренёвку, Пущу и в Подол.

Водою грязною машины поливали Покрытый пылью старый уличный покров.

Потом затихло всё.

На Нивках, возле леса, Вдруг появились супер-корпуса.

Подольские аборигены с интересом Узрели переезда чудеса.

Но, чтоб оставить центра Нет, нет! И в мыслях нет того!

И, затаив в душе такое себе чувство, Начальство приняло решенье. Но кого Вселить в старезные строенья?

Кто на себя возьмёт и план, и быт?

Постановили: Дмитриев,Чеченя Семенов, Литвиненко, Цымбалист.

«Великолепная пятёрка» ужаснулась, Когда в хоромы втиснулась едва.

А как Земля вкруг Солнца трижды обернулась – Нас стало здесь уже сто сорок два Вот так, товарищи. Такое было дело.

От недостатков мы избавились едва ль.

Сейчас жара. И мысли обалдело Завяли в Архимедову спираль.

Мы делим ноль на ноль. И делим бесконечность На бесконечное число ненулевых частей.

И, между прочим, всё уходит в вечность Под звон бокалов и разгул страстей.

(Имеется в виду - страстей экранных, Кипящих в фильмах Франции и США).

Как много в жизни ситуаций странных И, несмотря на это - жизнь так хороша!

О чём идёт здесь речь? Рука писать устала.

Да, улица уж не наводит страх.

А хорошо подольское казачество гуляло С монашками на праздник в Покровах!

Должен откровенно признаться: примерно в 1972 году у меня появилась мысль о новом строительстве, с которой я ещё года полтора ни с кем не делился. Уж очень много было аргументов против этой, почти авантюрной затеи. Главное, как мне казалось, – кроме моих московских военных начальников, вряд ли кто-нибудь меня мог поддержать. Да и начальники в Москве были настроены неоднозначно. У многих из них по-прежнему оставалась весьма спорная приверженность к как можно большему персональному участию в ответственности за направления спецтехники на предприятиях их директоров и главных инженеров. То есть, предполагалось, что достаточно иметь небольшой коллектив разработчиков и конструкторов в спецподразделении на заводе или НИИ, а остальное всё будет делаться общими службами соответствующих предприятий. Кое-где так удавалось сделать, но с развитием микроэлектроники такие принципы стали «пробуксовывать». Мне не хочется слишком долго рассуждать на эту тему, но линия на строительство своих площадей в нашей ситуации оказалась наиболее верной. Только проводилась она в жизнь очень сложно. Здесь были объективные причины: уж очень неудобной была сама площадка, расположенная на узкой полоске земли вдоль высокого и крутого склона бывшего берега ныне подземной реки Глубочицы, да плюс при промышленной застройке всего 1,8 га территории пришлось бы отселять из находящихся рядом старых домов примерно 55 семей. Кроме того, положенное в таких случаях технико-экономическое обоснование в общепринятом смысле не могло быть серьёзным аргументом, поскольку наш объект не мог быть прибыльным по своей сути: при огромных затратах на НИР и ОКР потребность в конечном продукте была невелика, да и купить производимую нами технику могли только спецслужбы. Кстати, эта сторона вопроса тоже усугубляла плохо скрываемую на всех уровнях властей в Украине неприязнь, как бы не пытались многие в Москве не замечать, а, скорее, даже не понимать. К сожалению, бывало и так: как только я пытался на основании фактов докладывать о серьёзных препятствиях нашему делу на фирме, меня тут же некоторые генералы «ставили на место», а зря. История, как мы знаем, не терпит сослагательного наклонения, но я уверен: если бы некоторые из моих московских начальников вовремя прислушались к моим доводам о скрытом и явном противодействии нашей тематике, не было бы таких потерь и, можно сказать, унижений, которые пришлось пережить впоследствии. Но мы работали со всеми руководителями НИИ, завода, объединения, находили возможности для укрепления наших позиций, для оказания содействия службам предприятия в решении ряда их проблем. В то же время ещё раз отмечу: Станислав Алексеевич Моралев являл собой пример директора с мышлением государственного уровня, он поддерживал с самого начала наш коллектив, был строгим, но справедливым руководителем, и, что очень важно, доверял мне.

Столь же тёплые слова я выскажу в адрес Константина Михайловича Кролевца, исполнявшего обязанности директора КНИИМП, и Владимира Фёдоровича Зубашича, ставшего директором после ухода С.А Моралёва из объединения. Хорошую память оставил о себе Олег Николаевич Сазонов, пришедший генеральным директором в трудное для "Кристалла", время, глубоко порядочный, честный человек, уважительно относящийся к людям. Тепло вспоминаю своего последнего генерального директора объединения "Микропроцессор" Виталия Леонидовича Августимова. Именно при нём я закончил свою деятельность в Киеве и в 1991 году уехал работать в Подмосковье, где и живу до настоящего времени.

Когда Юрий Александрович Петин обратился ко мне с просьбой принять участие в написании книги об истории украинской микроэлектроники, я вначале решил, что моя деятельность здесь не стоит внимания. Но потом передумал и написал этот короткий очерк, уделив в нём внимание не столько сухому перечислению названий и существа выполненных работ, сколько некоторым жизненным ситуациям и людям, с которыми работал. Думаю, что кое-что из него может быть интересным для моих коллег, к которым я отношусь с огромным уважением.

Работа в КНИИМП сделала меня руководителем, дала возможность получить неоценимый жизненный опыт, узнать большое количество людей и научила относиться к их заботам и потребностям объективно и по-человечески.

С 1994 года я нахожусь на пенсии, но трудовой деятельностью занимался вплоть до 2006 года, будучи заместителем генерального директора холдинговой компании ЗАО "РСТ" ("Российская специальная техника"). Её руководителем был скончавшийся в 2008 году прекрасный человек, генерал-майор Игорь Сергеевич Романычев. С 1975 по 1993 гг. он был командиром войсковой части - мощного НПО оборонного профиля под Москвой, бывшего техническим заказчиком всей аппаратуры, разрабатываемой специализированным комплексом № 1 нашего института. В период с 1978 по 1982 гг. я работал его заместителем, курируя научно-технических направления, режим, промышленное и жилищное строительство, материально-техническое снабжение и комплектацию, был председателем жилищной комиссии и совета спортивного общества. В эти же годы дважды избирался депутатом Горсовета, был председателем постоянной комиссии по городскому жилищному хозяйству.

Затем по приказу вновь вернулся в КНИИМП, чтобы завершить строительство по Постановлению ЦК КПСС и СМ СССР комплекса зданий и сооружений руководимого мной СНПК-1 на ул. Глубочицкой, 43.

Как видите, всё-таки первоначальная, казалось бы, неисполнимая идея была воплощена в жизнь. В сложных условиях, иногда с задержками сроков, СНПК- выполнил все поставленные задачи, поставив для заказчика большое количество разнообразной аппаратуры, показав реальные возможности современной элементной базы КНИИМП. Ведь в своих разработках мы не имели возможности использовать никаких изделий зарубежного производства! И это также являлось стимулом для дальнейшего повышения технических и эксплуатационных характеристик БИС и СБИС разработки нашего института.

После развала СССР я несколько раз приезжал в Киев, встречался с друзьями и коллегами. Вместе с В.Ф. Зубашичем был любезно принят нынешним директором КНИИМП Владимиром Григорьевичем Вербицким. Как я отметил выше, тяжёлое впечатление оставило ознакомление с увиденным. Не знаю, хватит ли мужества и терпения директору и двумстам пожилым сотрудникам, представляющим наиболее патриотичное ядро бывшего почти пятитысячного коллектива, но я желаю всем здоровья и удачи!

С радостью встречался я и с В.Л Августимовым, ныне генеральным директором корпорации "УКРЭЛЕКОР". Конечно, столь громкое название не отражает нынешнего состояния когда-то очень хорошо и серьёзно (таков стиль Виталия Леонидовича) задуманной организации. Ничего не поделаешь - настали другие времена.

В течение последних лет я пишу книгу своих воспоминаний. В ней постараюсь гораздо более подробно рассказать обо всём, что осталось в моей памяти за достаточно долгую жизнь. Пока же пожелаю всем своим коллегам, с которыми начинал свой путь в украинской микроэлектронике, долгих лет достойной жизни, благополучия и, несмотря на сложности, создания нормальных условий для жизни своим детям и внукам! С уважением - Юрий Иванович Цымбалист, полковник в отставке, член Союза писателей России».

Белевский В.П. Начало … Опубликовано в 1972 году в газете «Ангстрем» к 15-летию НИИ.

Первого апреля 1963 года я перешел работать с одного из современнейших заводов на наше предприятие.

К одноэтажному «админкорпусу» в стиле «барак» через непролазные лужи вел одноколейный настил из досок. Этот путь в «науку» для новичка выглядел слишком зыбким и неопределенным.

С первых же дней активно влачился по реконструкции заброшенного корпуса бывшей мебельной фабрики. В то время мы много строили - помогали проектировщикам нового корпуса, охотились за специалистами, доставали и расставляли оборудование, травили звероподобных подольских крыс, разрабатывали тематику и переучивались. Во время обеденного перерыва на бугристом футбольном пятачке устраивали показательные сечи, с выбиванием участников в медпункт или даже в стационар, а после игрищ нещадно пили пиво в кредит у тети Цыли.

Всё было интересно, доступно, весело - и никаких тебе неразрешимых проблем! Необременённая большим опытом проведения разработок фантазия заводила иных в такие «творческие омуты», куда теперь без содрогания заглянуть невозможно. Аргументация в творческих спорах была самая разнообразная - от ссылок на чужой опыт и авторитет (своего еще не прибрели) до обещания съесть туристические ботинки с протектором, «моделирования» технологического процесса… при помощи наэлектризованной трением о шевелюру расчески. Были юморески в газете «Ангстрем» и трёхчасовой, наполненный юмором, турнир между семотехниками и физиками в самодеятельном КВН.

И не только наука… Фото слева. Физики - справа Д.Лазарев, Ю.Петин. Ю.Ильин, Л.Скиданчук против других.

Фото справа. Стране нужна и картошка…Схемотехники на уборке урожая.

В центре – В.И.Кибальчич, рядом с ним (справа) - В.П.Сидоренко На почве всепобеждающего оптимизма, взаимной доброжелательности и жизнелюбия успешно зарождалась новая отрасль науки и техники.

Мы одними из первых в стране разрабатывали и внедряли в производство новейшие технологические процессы и оборудование. Этому способствовали постоянное внимание и поддержка партийных органов республики и руководителей нашего министерства.

В свой первый приезд нашу лабораторию посетил Министр. Усевшись за единственный стол, разместившийся среди скопища оборудования. Он внимательно выслушал нас. Рядом с ним была самодеятельная вакуумная установка со стеклянным медицинским колпаком, вокруг которого хаотически топорщились провода и теснились необлагороженные рукой эстета первобытные блоки. Министра заинтересовало то, что было размещено внутри колпака – воплощенные в металл идеи. В заключение беседы он окинул взглядом покрытые плесенью стены лаборатории, посмотрел на робко сгрудившихся вокруг него, молодых людей и сказал: «Если в этих условиях вы взялись за такие разработки, то из вас получатся настоящие ученые». Через несколько дней пришла Правительственная телеграмма, в которой Министр увеличил на 100 человек численность для усиления наших разработок.

Летний отпуск 1964 года заместитель директора по строительству т.

Павловский В. И я провели на том месте, где сейчас расположена наша база отдыха «Рось». Жили мы в самостоятельно построенном «по проекту В.Павловского»

камышовом шалаше, к которому по выходным дням приезжали и другие сотрудники нашего предприятия.

Полюбил я тот край за красоту природы и его просторы. А вскоре начались первые субботники и воскресники по строительству базы отдыха «Рось».

Подводя итог, необходимо заметить, что большинство из задуманного в первый год существования коллектива предприятия, уже выполнено. Закончились крупные стройки, внедрены многие разработки, развиты новые формы сотрудничества между научными и производственными подразделениями.

Некоторым из «ветеранов» института присвоены ученые степени и звания, ряд научных коллективов стали ведущими в отрасли по своим направлениям. Как во всяком новом деле у нас были не только достижения, но и крупные неудачи.

Приобретенный за 15 лет опыт - это фундамент прошлого, на котором необходимо всем нам возводить новое, уже не железобетонное, а научно техническое «здание» института, соединенного двухколейной магистралью научно технического прогресса с заводом.

Все мы, работники института и завода, должны самоотверженно и доброжелательно трудиться над быстрейшей прокладкой этой магистрали, а не стоять или лежать на проложенных рельсах. В этой работе нам нужен энтузиазм, взаимопонимание, моральный климат трудного первого года.

Сидоренко В.П.. Хцынский Н.И. Продолжение… Опубликоавно в 1977 году в газете «Ангстрем» к 15-летию НИИ.

Зарождение МОП-схемотехники на нашем предприятии началось с чтения статьи Воллмарка и Хофштейна в «Электронике» и неясных слухов среди радистов, погрязших в пучине гибридно-пленочных схем, об удивительном приборе, полученном группой Ю.А.Петина при выполнении НИР «Канал». Это было на рубеже 1965-1966 г.г.

В 1967 году инициативная группа «схемотехников» в составе Хцынского Н.И., Цымбала А.А., Москалевского А.И., Безшапкина Н.В. начала исследовать характеристики р-канального МОП – транзистора, анализировать его математическую модель и перспективы в области применения, в том числе в коммутаторах, цифровых и линейных интегральных схемах.

Эта «аморфная» деятельность не дала каких-то конкретных результатов, а скорее сформулировала возможные направления развития микросхемотехники и привлекла внимание к МОП - транзистору и схемам на его основе.

В дальнейшем образовались группы Зеленевской Е.А. - по разработке логических ИС, Хцынского Н.И. - по разработке заказных схем и схем памяти, и Золотаревского В.И. - по разработке аналоговых коммутаторов.

1967 - 1968 годы характеризовались уже наличием плановых НИР, и в последствие ОКР, ориентированных на создание интегральных схем малого уровня интеграции с конкретными техническими характеристиками.

Заметный толчок интенсификации работ в этом направлении был дан при непосредственном контакте с инженерами-разработчиками первых МОП ИС в Зеленограде и Москве - М.Королевым, В.Гусаковым, П.Атановым, Г.Васильевым, А.Кармазинским, в Ленинграде – В.Гальпериным, Г.Берлинковым и в Воронеже С.Ереминым, А.Стояновым, Н.Кондратьевым и Ю.Верницким.

Реальное зарождение логических интегральных схем на МДП-структурах на нашем предприятии связано с созданием серии логических элементов малого уровня интеграции, которая первоначально называлась «Компонент».

Работы проводились с 1967 года и изобиловали множеством драматических и комических моментов, хотя участникам этого дела часто было не до смеха.

Основными «забойщиками» по «Компоненту» были Е.Зеленевская, О.Борисенок, А.Цымбал, С.Крутиков и технологи во главе с Ю.А. Верницким, М.Кардащуком, в том числе М.Глазко, Л.Абессонова, А.Долуда и другие. Трудности в получении качественных ИС в данной работе и последовавшее за ней «Шипкой»

разрабатывавшиеся со специалистами НРБ для ЭКВМ «Элка» вызвали к жизни вариант серии К-4 со специалистами – «варягами» т.т. Н.Кондратьевым, Ю.

Троценко, Ю.Аверкиным и Ю.Верницким. Дальнейшее развитие этой работы привело в 1969 году к ОКР «Кобра», которая была успешно сдана, а в производство была запущена первая крупная серия 172.

Применение этой серии в клавишных вычислительных машинах Минприбора (серия ЭКВМ «Искра») изобиловало многими сложными моментами. Особенно страшная была «гидра» статэлектричества, с которой на заводах Минприбора, выпускавших до этого механические арифмометры, не были знакомы. Эта сложность выплеснулась даже в центральную периодическую печать, что еще в большей степени способствовало нашей популярности. Но трудности были преодолены, и эпопея разработки и внедрения на нашем заводе «Кобры» стала той базой, на которой развивались все последующие работы и производство МДП ИС.

Среди ветеранов завода, обеспечивших работы были И.Г. Кизема, И.И.Гаврилюк, Г.С. Бородинец, А.Ф.Ляшенко и многие многие другие.

Необыкновенную по смелости работу начали в 1987 году ряд предприятий отрасли под названием НИР «Полюс», ставившей своей целью создание СБИС на целой пластине. Эта работа предвосхитила работы известной фирмы ТР ЕМICO CTOR, создавшей такие схемы в 1986 году. В работе «Полюс» принимали участие КНИИМП, КБ ТЭМ г. Минск. НИИТТ г. Зеленоград, предприятия г.г. Вильнюса, Риги и Москвы. Киев, как пионер МОП ИС, должен был разработать и создать ИС, Минск в лице пионеров электронного машиностроения т.т. Глазкова, Райхмана разработать оборудование для фотошаблонов и сборки, Вильнюс – алгоритм трассировки в матрице типовых логических элементов, а Зеленоград многовыводной корпус для кристалла размером с пластину диаметром 45 мм. Работу не удалось успешно завершить тогда главным образом из-за непреодолимой сложности многослойных соединений между отдельными модулями.

После свертывания работ по тематике «Полюс» дальнейшие работы группами Хцынского и Золотаревского проводились под флагом супер - ОКР нашего предприятия - «Маневр» и «Маневр ВК». Первой - в части исследований и раз работки ИС памяти, а второй коммутаторов аналоговых сигналов. Первая интегральная схема ПЗУ информационной емкостью 1 кбит создавалась как плод фантазии наших схемотехников и как результат анализа цветной фотографии кристалла фирмы Texas Instrumens, опубликованной в журнале Solid State Technology, а схема ОЗУ 64 бит копировалась с кристалла ф.IBM. Это происходило в 1969 году, и работа выполнялась Е.Филимоновой и Н.Безшапкиным.

К этому времени относятся первые попытки создания МНОП РПЗУ информационной емкостью 4 бита, практически одновременно с НИИ «Восток» и сразу за фирмой Bell. Работа выполнялась В.Невядомским совместно с технологами Ю.Дариевичем и другими.

В области аналоговых коммутаторов также практически впервые в СССР были созданы две схемы «Маневр» 168КТ1 и 168КТ2, причем это были первые схемы с приемкой заказчика в лице Дементьева, М.Чуянова, В.Иванова. Свою эрудицию и целенаправленность при создании этих схем проявили т.т. Золотаревский В.И., Ткачук А.А. Усилия схемотехников опирались на знания технологов как Фабриков С.П., Щеткин В.Н., Москалевский А.И. и созданную в этот период «чистую»

комнату под руководством Гайворонского И.П. под общим руководством начальника технологического отдела Ю.А.Верницкого, а затем Ю.А.Петина.

Внедрением в серию этих изделий занимался Н.Ерин.

В 1969-1970 г.г. на нашем предприятии проводилась первая ОКР по разработке схем среднего, и можно сказать, большого уровня интеграции под названием «Кант» во главе с Ю.А.Верницким. Схемотехнику этой работы вела группа А.Я.Сироты (Прокофьев Ю., Копытов А.). В результате в конце 1969 года появилась первая в СССР БИС на р - канальных МОП -транзисторах - 90 разрядный сдвиговый регистр. Все указанные группы действовали в составе лаборатории под руководством В.П.Сидоренко. Эта лаборатория, осознав важность технологического обеспечения разработок «пошла в народ», влилась в технологический отдел Ю.А.Петина.

К указанному периоду относятся и первые попытки создания БИС для микрокалькуляторов, за которые взялись Л.Мараховский и Ю.Лещенко. Это происходило в 1970 году.

Однако ни логическое моделирование и разработка структуры Л.Мараховского, ни схемотехнические изыскания Ю.Лещенко не дали положительных результатов. Весной 1971 года хиреющее направление было «гальванизировано» за счет совместных работ с ГСКТБ по разработке микрокалькулятора на 4-х БИС (группа А.Я.Сироты - Ю.В. Таякина). Но это уже другая история, как и развертывание разработок в области регистров, запоминающих устройств, МНОП РПЗУ, коммутаторных и линейных МДП ИС, которые знаменовали собою переход микроэлектроники от возраста младенческого и романтического к возмужанию и выходу на уровень отрасли промышленности.

Успехи, о которых здесь упоминалось, были бы невозможны без самоотверженной работы конструкторов-топологов А.А.Тильса, Г.Д.Шельпука, Ю.Ткаченко, В.Бондаренко и других, без разработчиков и изготовителей фотошаблонов Л.Золотовой, С.Пивоварова. В.Уланова, А.Минина, Э.Карпенко и других, а также без развертывания работ по математическому моделированию МДП ИС в 1968-1970 г.г. в отделе В.Табарного такими специалистами как А.А.Молчанов, Б.Герасимов, В.Черный, А.Василенко, В.Миронченко и, впоследствии, М.Погребинский, реализованными на ЭВМ «Минск-22» и «Минск-32», а также многих и многих других технических работников и работников в области научно технической информации.

В.П.Захаров Четыре пятилетия института Опубликовано в 1982 году в газете «Ангстрем» к 20-летию НИИ.

Первое пятилетие Что самое характерное для этого периода, - мы были самостоятельным институтом, был всего лишь один еще не генеральный директор, один главный инженер и В.И.Кибальчич (функциональные обязанности которого не изменялись практически до сегодняшнего дня).

Жили мы скромно на задворках Подола, было нас мало и, что самое главное были мы на двадцать лет моложе.

Трудно, конечно, сказать, что являлось причиной, но энтузиазма, энергии, стремлений, задора и юмора было столько, что кроме основной работы мы успевали веселиться, иногда даже в виде КВН.

Даже не в 1963 г., и не в 1963, а в 1964 году появилась у нас одна муфельная печь, в которой Ю.А.Петин и А.А.Вдовенков, которых за отсутствием других, считали выдающимися технологами, шли первые наши разработки - кольцевой МОП-транзистор и электролюминесцентный экран.

Вы, очевидно, не поверите, но, как они утверждали и утверждают поныне, оказывается, что-то получалось, несмотря на то, что их лаборатории регулярно посещал дворовый пес и общий любимец Жук (это к вопросу о вакуумной гигиене).

Нам кажется, что именно в тот период были заложены основы, определившие на долгий период возможность сосуществования у нас в институте таких по-своему выдающихся личностей как Белевский, Протас, Борякин и Таякин, Польский и Томашпольский, Дуболазов и Айвазов и всей многочисленной когорты пришельцев 1976 года.

И если честно говорить, то с позиций сегодняшнего дня, мы в этой пятилетке ничего существенного, кроме коллектива разработчиков, так и не успели создать.

Очевидно, этот период был таким радостным, потому что мы даже не попытались что-либо внедрять.

А закончилось наше первое пятилетие великим переселением народов на хутор Нивки.

Второе пятилетие.

Его можно назвать пятилетием «шишек». Вначале набивали «шишки»

физически, таская тяжелое оборудование при переезде в наш новый поначалу очень просторный корпус. А потом пошли «шишки» иного плана, кода мы начали высовываться с разработками. И пошло - заводы, заводы, одних только заводов было около двух, а разговоров и споров хватило бы на две отдельно взятые отрасли промышленности.

Начали появляться сверхсмелые проекты создания интегральных схем, вершиной которых явилась «Кобра». А потом пошло, поехало - восьмикристальные, четырехкристальные, однокристальные, и что бы думали, вычислительные агрегаты, некоторые из которых создавались в единичных экземплярах, т.к. их «слишком быстро делали». В этой суматохе мы как-то даже не заметили, что неумолимо приближаемся к рубикону, который разделил историю института на практически равные периоды - до того и после того.

Начали мы наш новый период с реализации известного принципа - прежде чем объединиться, нужно решительно размежеваться. Реализовать-то мы реализовали, но в полной мере только в той части, которая касается размежевания, а с объединением вопрос обстоял несколько хуже, что, по-видимому, связано с многочисленными трансформациями самого объединения. Второе пятилетие, очевидно, закончилось благополучно.

Третье пятилетие Жизнь на хуторе вдали от культурных центров города, как ни крути, накладывает отпечаток: мы реже стали беспричинно веселиться, зато стали более целеустремленно трудиться, черпая в работе радости и печали. Мы постепенно начали овладевать современными методами разработок и производства, появились первые изделия и даже опытный завод. Первые «Восходы», «Пеналы», интегральные схемы, микропроцессоры и калькуляторы. Значительно расширился отряд технологов и обычный, но только очень большой фотоаппарат, вынужден был уступить место фотонаборной установке. Мы уже не просто росли, а мужали, овладевая одной за другой ступеньками в мир настоящей микроэлектроники. И знаете, если честно говорить, по-видимому, это у нас неплохо получалось. Хуже обстояло с другой стороной дела. Хуторная система дала о себе знать и здесь. Что-то не сложилось, как нам объяснили: и начался закономерный процесс укрепления руководства объединения и института. Коллективу институт, пережившему такого рода потрясение впервые, все казалось трагическим. Страсти достигли точки кипения, когда К.М.Кролевец, уже не по своей воле, решил вторично покинуть нас.

Но руководство объединения свято верило в свою правоту. Народ стал безмолвствовать, но продолжал упорно овладевать секретами и тонкостями своего ремесла. К концу нашего третьего пятилетия, когда казалось всем, что сделано достаточно много и кое-что достигнуто, нам вдруг объявили, что «мы еще с дерева не слезли». Это вызвало некоторое изумление и замешательство в наших рядах, но, как выяснилось в дальнейшем, такая оценка положения дел была далека от истины.

С таким неоднозначным итогом закончили мы свое третье пятилетие.

Четвертое пятилетие На него приходится так много событий, то для их осмысливания потребуется еще не менее пяти лет.

Но кое-что врезалось в память. Это, прежде всего, появление новых, весьма энергичных специалистов, приход которых потребовал массовых реорганизаций для удовлетворения их желаний. Одно только ОКБМ претерпело столько преобразований столько раз, сколько было необходимо для совмещения его задач с возможностями его начальника. А сколько НИО было образовано и тут же реорганизовано. Какие грандиозные проекты погибали на разных стадиях своего осуществления. Некоторые из них просто не вмещались в масштабы нашей фирмы и исчезали за ее пределами. Увлекшись около деловой суетой, мы как-то упустили из виду многие по-настоящему животрепещущие вопросы нашей деятельности.

Расплата не заставила себя долго ждать. Процесс «освещения» структур «Космоса» и «Камня» (лучше бы они упоминались в предыдущем юбилейном номере «Ангстрема») не ограничился только ими, но и затронул в очередной раз наше руководство. Нас эти события не застали врасплох, т.к. жизненный опыт – это великая вещь. А институт, несмотря ни на что, продолжал и продолжает свое движение вперед, восстанавливая свой авторитет, подорванный не зависящими от него обстоятельствами.

Часть третья Сделано в Киевском НИИ микроприборов «Только в бодром горячем порыве, в страстной любви к своей родной стране, смелости и энергии родится победа. И не только и не столько в отдельном порыве, сколько в упорной мобилизации всех сил, в том постоянном горении, которое медленно и неуклонно сдвигает горы, открывает неведомые глубины и выводит их на солнечную ясность.

М.Ломоносов «Чуть помедленнее, кони, чуть помедленнее!

Не указчики вам - кнут и плеть.

Но что-то кони мне попались привередливые…»

В.Высоцкий 1. От ГИС до БИС и аналоговых ИС Саватьев В.А.

1.1 Гибридно-пленочные микросхемы Значительным успехом в создании гибридно-пленочных схем следует считать разработку конструкции корпуса типа “Пенал” и последующие разработки серии интегральных схем 211 в этом корпусе:


Экран Основание Подложка Малая сборка:

основание, транзисторы и операция термокомп рессии Гибридно пленочная микросхема в сборе Корпус типа «Пенал».

- металлополимерный корпус “Пенал” воплощал в себе не только корпус для защиты интегральной схемы от воздействия факторов внешней среды, но и вписывался в технологический процесс собственно создания интегральной схемы из пассивной части и бескорпусных транзисторов;

- не имел прямых аналогов ни в СССР, ни за рубежом.

Авторское свидетельство. Функциональный узел.

Б.А.Балай, С.П.Головко, С.А.Моралев, В.А.Саватьев, А.А.Тильс.

(Корпус типа „Пенал”).

1. Идеология корпуса “Пенал” была предложена и разработана Шельпуком Г.Д. и Тильсом А.А. Вся серия гибридно-пленочных микросхем была разработана коллективом лаборатории №174: Шельпук Г.Д., Тильс А.А., Трофимов В.Л., Балай Б.А., Ткаченко Ю.И., Захаренко В.И., Попова Т.Д., Вирозуб Т.М., Журба С.П., Артюх В.А. и др.

2. Большой вклад в разработку серии внес лично Ивженко И.П., возглавивший разработку всей оснастки для корпуса: вырубные штампы для внешних выводов, пресс-формы для основания, вытяжной штамп для экрана.

3. Коллектив лаборатории нестандартного оборудования во главе с Саватьевым В.А. был вынужден разработать подколпачное устройство для изготовления пассивной части микросхем. Это устройство явилось прототипом будущей серийной установки напыления пленочных гибридных микросхем типа УВН-2М, а именно: механизм, осуществляющий от вращения вала в одну сторону подъем держателей подложек, поворот на следующую позицию напыления и опускание с совмещением столиков с подложками и маскодержателей, конструкцию электронной пушки.

К сожалению, все эти решения не были оформлены патентами на изобретения, а описаны в статье журнала и, тем самым, утратили авторские права.

4. Интерес генерального заказчика к серии микросхем серии “Пенал” заставил конструкторский отдел заняться расчетами устойчивости конструкции микросхемы к воздействиям факторов внешней среды. В первую очередь это относилось к тепловым режимам, поскольку тепловыделяющие элементы – транзисторы находились не в самых выгодных условиях эксплуатации, а именно, в карманах основания, которое является исключительным теплоизоляционным материалом.

Надо признать стратегическую прозорливость Панкова М.А., который в свое время убедил руководство в необходимости пригласить на работу математика Клименко А.С.

Именно им были выполнены расчеты тепловых режимов микросхем, а затем и расчеты по устойчивости конструкции к механическим воздействиям:

виброустойчивости и удароустойчивости.

5. Естественно, что разработка технологии получения пассивной части микросхем серии 211 была одной из ключевых составляющих всего проекта.

Рождалась в муках и ожесточенных спорах. То, что получило путевку в жизнь заслуга Корнева А.М., Косенкова А.С. и др.

6. Для производства опытных партий и первых серийных образцов при КНИИ МП был создан опытный завод.

В дальнейшем микросхемы серии 211 были переданы на серийные заводы в г.

Виннице и г. Ивано-Франковске. Объем выпуска микросхем серии 211 на заводе в г. Виннице в 70 годах достиг миллиона штук в год.

Единственным усовершенствованием в серийном производстве явился отказ от масочного напыления резистивной части и переход к фотолитографическим процессам и селективного травления с последующей подгонкой резисторов.

В процессе разработки конструкции и технологии производства гибридно пленочных микросхем серии 211 в НИИ МП были защищены диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук Корневым А.М., Белевским В.П., Косенковым А.С., Атаманенко В.Т., Рець В.К., Зеленевской Е.А.

Корпус предназначен для защиты гибридных интегральных микросхем от воздействия влияния факторов окружающей среды.

Корпус “Пенал” вертикального типа размерами 3,5 *17,5*26мм (H*W*L), с шестнадцатью внешними выводами, которые расположены в узкой стороне и размещаются в два ряда в шахматном порядке, с расстоянием между рядами 2,5 мм (по 7 в каждом ряду) и с шагом 2,5 мм между выводами в ряду. Два крайних вывода размещаются по оси корпуса, т.е. смещены по отношению к обоим рядам. Таким образом, шаг между выводами укладывается в сетку с шагом 1,25мм, что не соответствует требованиям РТМ по печатным платам, но, несмотря на это, корпус был внесен в каталог.

Корпус предусматривает последовательную сборку микросхемы.

Основание корпуса с встроенными внешними выводами из сплава меди изготавливается из термореактивной пластмассы АГ-4В. В основании с двух сторон предусмотрены два кармана для размещения подложек с пассивной частью. В верхней части основания с каждой стороны отпрессованы по десять углублений для размещения бескорпусных транзисторов типа 2Т315В. Т-образные внешние выводы обеспечивают возможность внутренней коммутации между подложками;

Крышка корпуса изготавливается глубокой вытяжкой из алюминиевого сплава.

Герметизация осуществляется заливкой компаундом полости размером 3*26*3,5 мм между корпусом и основанием.

Проследить весь этап разработки конкретного устройства в корпусе “Пенал” предлагается на примере усилителя считывания сигналов из разрядных обмоток модулей памяти МП 128/19.

1.Пассивная часть а).Сопротивления Пленочные резистивные элементы в основном оцениваются:

- по величине сопротивления квадрата поверхности при заданной толщине (р0);

- по величине температурного коэффициента рt, связанного с рассеянием, обусловленным тепловыми колебаниями кристаллической решетки;

- технологичности получения тонких пленок.

Так как пленки с сильно нарушенной структурой термодинамически мало стабильны, то требования низкого d (толщины пленки) и малого изменения величины сопротивления в течение срока службы, плохо согласуются для чистых металлов.

Это противоречие можно разрешить путем выбора металла с высокой температурой плавления и малой подвижностью атомов в пределах рабочих температур или путем выбора условий осаждения, при которых можно получить металлические пленки, содержащие в своей структуре атомы инородных металлов (т.е. сплавы).

Следует заметить, что чисто металлическая проводимость всегда дает положительный температурный коэффициент сопротивления.

В КНИИМП в качестве материала для тонкопленочных сопротивлений был выбран как устойчивый к коррозии тантал, поскольку при температуре воздуха в 250оС его пленки стабилизируются в течение одного часа. Значительного отжига при этой температуре не происходит или, во всяком случае, этому процессу препятствует образование на поверхности окисной пленки, так как сопротивление пленки в это время возрастает на 50%.

Таким образом, для подгонки величины поверхностного сопротивления после осаждения до полного значения можно применить термическое или анодное окисление.

Поскольку процесс окисления при температуре ниже 150оС почти не происходит, то эту температуру следует считать верхним пределом рабочей температуры для танталовых пленочных сопротивлений.

б). Диэлектрик Напыленная моноокись кремния, по-видимому, является наиболее часто используемым диэлектриком для тонкопленочных конденсаторов и защитных слоев пересекающихся проводников в разных слоях.

Пленочные емкостные элементы оцениваются диэлектрической постоянной (є), величиной потерь (tgб), объемным сопротивлением (ps), пробивной напряженностью (Eпр) и частотой среза (fср).

Диэлектрическая проницаемость пленок моноокиси кремния составляет около 6,0 и обнаруживает сильную зависимость от условий осаждения. Поэтому значение емкости может быть воспроизведено с точностью в пределах +- 10%. Можно получить конденсаторы с удельной емкостью от 0,018 до 0,0018 мкф/см2 при толщине диэлектрика 0,3-3мкм. Это значение сравнительно невелико, но такие пленки могут найти применение в вычислительных схемах, где обычно используется конденсаторы емкостью 25-100 пф. Выход конденсаторов можно увеличить путем нанесения на подложку перед осаждением нижнего электрода слоя SiO2 толщиной около 2мкм. Выход также зависит от выбора материала электродов.

Наиболее технологичными материалами для получения пленок диэлектрика термическим испарением в вакууме являются халькогениды мышьяка и сурьмы. ИКС-24, Sb2S 2.Изготовление пассивной части Пассивная часть - проводники, конденсаторов, сопротивлений и контактов к ним, внешних контактов микросхемы к выводам корпуса изготавливалась с применением семи масок, которые обеспечивали напыление создание резисторов, конденсаторов необходимой конфигурации и их расположением на подложке в соответствии с топологией микросхемы, контактов к ним и изоляцию между «резисторными» и «конденсаторными» слоями. На финише напылялись пленки ИКС для защиты созданной системы. Последовательность смены масок и напыление слоев были такими:

первая маска (нижний электрод) - хром (15-20 мкм) -хром + золото (15-20мкм) золото (4000-4500 А), вторая - тантал, третья - алюминий, четвертая – диэлектрик, пятая (верхний электрод) – алюминий, шестая и седьмая маска – защитные слои диэлектрика.

3.Технологическая карта напыления пассивной части предусматривала выполнение 27 операций. После напыления пленок Ta контролировалась толщина пленки по сопротивлению RkTa, после напыления пленок алюминия – контроль толщины по RкAl контроль старения резисторов по RкTa.

4.Микросхема «Усилитель считывания» состоит из двух идентичных усилителей и предназначена для усиления сигналов, считанных из разрядных обмоток модулей памяти МП 128/19.

5.План разработки компоновки и расчета микросхемы 1). Расчет площади необходимой для размещения пассивной части микросхемы.

2). Выбор конструктивного оформления микросхемы.

3). Расчет тепловых режимов микросхемы.

4). Выбор технологических решений из учета площади пассивной части и конструктивных решений.

5). Разработки топологии микросхемы:

а) Выбор формы и размещение пленочных элементов;


б) Оценка паразитных емкостей;

в) Проверка тепловых режимов микросхемы.

6. Разработка конструкторской документации на микросхему.

Поскольку в схеме имеются сопротивления, отличающиеся на 3 порядка, то представляется разумным воспользоваться двумя технологиями получения резисторов из материалов с различными р.

Всякое увеличение числа слоев на одной подложке приводит к уменьшению процента выхода годных, поскольку в одном технологическом цикле напыления очередного слоя используется подложка с большими геометрическими размерами.

Резисторы с диапазоном номиналов от 100 ом до 5,6 ком можно выполнить на резистивной пленки из Та (тантала) с удельным р = 300 ом/кв.

Резисторы с диапазоном номиналов от 5,6 ком до 100 ком желательно выполнить на материале с удельным р = 3000 ом/кв. Таким удельным сопротивлением обладает Sr + SiO2 «кермет».

Поскольку технология Та с диэлектрическими пленками на основе ИКС- достаточно хорошо отработана, то выбираем для реализации одной пассивной части микросхемы технологию Та и ИКС-24, а для другой части технологию «кермета».

Схема содержала 6 транзисторов, 7 сопротивлений и один конденсатор.

Разбиение схемы на две части представляется следующим, а количество перемычек между подложками минимальным равным 6, поскольку выводы «питания» и «земли» заранее предусмотрены для обеих подложек. Исходя из этого проводилась, компоновка пассивной части микросхемы «Усилитель».

Корпус “Пенал” был внесен в перечень корпусов с припиской «не рекомендован для использования», то перед разработчиками НИИМП была поставлена задача разработки высокотехнологичного корпуса для гибридно пленочных микросхем.

Такой корпус был разработан и запатентован в СССР в 1969 -70 годах.

Он отличался тем, что:

- выводы корпуса изготавливались из проволоки и формовались после запрессовки;

- шаг выводов и габаритные размеры экрана соответствовал координатной сетке 2,5 мм;

- подложки с пассивной частью могли коммутироваться по обеим сторонам;

- коммутация между подложками и внешними выводами проводилась при помощи рамки с облуженными концами:

- бескорпусные транзисторы устанавливались непосредственно на подложку и присоединялись к пассивной части без золотых перемычек;

- были улучшены условия теплоотвода.

Была разработана оснастка, изготовлена опытная партия и проведены испытания.

Но время гибридно-пленочных схем закончилось, а переделывать аппаратуру, в которой использовались микросхемы 211 серии, было нерентабельно, и “Пенал” выпускался на серийных заводах вплоть до 90 годов в первоначальном варианте.

В первом квартале 1969 года делегация в составе: главный инженер Борисенко В.Д., заместитель главного инженера Кибальчич В.И., начальник отдела №150 Мартынюк А.А и начальник отдела №170 Саватьев В.А., посетила ВНИИРА (Всесоюзный научно-исследовательский институт радиоэлектронной аппаратуры г.

Ленинград). Главный инженер ВНИИРА Спиров собрал совещание главных конструкторов, где с докладом выступил Борисенко В.Д.

С этого времени с коллективом ВНИИРА завязалось плодотворное сотрудничество в течение пяти-шести лет. Именно ВНИИРА дал путевку в жизнь серии 211 в корпусе “Пенал”, разработав целый ряд приборов бортовой авиационной аппаратуры и запустив их в серию на своем серийном заводе “Коммунист” в г. Киеве.

Заканчивая эпоху гибридно-пленочных схем по заказу МО СССР, главный конструктор Керекеснер И.П. и заместитель главного конструктора Тильс А.А.

успешно провели ОКР «Стрела» по разработке электронной части тепловой головки наведения для ракеты типа «земля-воздух» и запустили изделие в серию на заводе «Коммунист» г. Киев.

1.2 БИС аналогов микропроцессорных наборов Совершенно обычным для практики социализма являлось воспроизведение изделий развитых капиталистических стран (в первую очередь США). Связано это было не неверием в интеллектуальные способности собственных специалистов, а пониманием того, что экономические возможности социализма далеки от необходимых капиталовложений в науку и технику. Способствовало этой практике и то, что СССР был закрыт «железным занавесом» от капиталистического мира и не подписал многих из международных соглашений о защите авторских прав. Но даже если и были ратифицированы некоторые из международных документов, то возможности у капиталистического мира предъявить претензии к нарушению авторских прав или патентов к конкретным виновникам в СССР не представлялось возможным.

Неправильным это направление являлось только в одном случае - страна (предприятие), копирующее чужое изделие, заведомо планирует отставание как в инженером, так и технологическом плане. И все же само направление воспроизведения аналогов нельзя считать совершенно порочным. Этим в свое время, да пожалуй, и сейчас грешили многие страны, в том числе и США.

КНИИМП в МЭП СССР был определен как «копировщик» изделий фирмы Intel.

Таким образом, на КНИИМП были возложены обязанности по созданию микропроцессоров и схем интерфейсов и драйверов обеспечивающих построение миникомпьютеров.

Задача воспроизведения аналога любого изделия (в особенности БИС) является очень сложной не только в инженерном (интеллектуальном) плане, но и зачастую из-за отсутствия необходимых материалов, оборудования для изготовления и тестирования подобных изделий.

В определенном смысле воспроизведение аналогов БИС сродни очень качественному переводу иностранной литературы на русский язык (например, Шекспира). Необходимо не только полностью передать назначение самого изделия, но и сделать его технологичным для отечественного производителя (по аналогии с Шекспиром необходимо передать не только фабулу и смысл произведения, но и сделать его удобочитаемым для русского пользователя, сохранив при этом все нюансы английского юмора и среды обитания). Это очень не простая задача.

И надо отдать должное разработчикам отделов №150 (нач.отдела Кобылинский А.В.), №210 (нач.отдела Троценко Ю.П.) и лаборатории №173, возглавлявшейся Тильсом А.А., которые сумели создать методики проектирования и подготовить коллективы квалифицированных разработчиков.

В 1976-1978 годах в рамках ОКР “Корт1“ - “Корт4“ были созданы аналоги 8 разрядного микропроцессора 8080 (К580ИК80), программируемого параллельного интерфейса 8055(К580ИК55), последовательного интерфейса 8051(К580ИК51), программируемого таймера 8053(К580ИК53) и прямого доступа к памяти 8057(К580ИК57). Основные разработчики топологического проекта Тильс А.А., Балай Б.А., Лопаненко И.В.,Журба С.П., Смирнова Т.А. Именно в рамках этих ОКР была создана методика разработки аналогов. Через год с успехом был воспроизведен и аналог математического сопроцессора 8087.

НИР «Корт» - аналог микропроцессора 8080 (МП-К-25).

На топологии свои автографы запечатлели АТ (Александр Тильс), ББ (Борис Балай) и ИЛ (Игорь Лопаненко).

1. Вскрытие и фотографирование кристалла микросхемы. Если микросхема была заключена в пластмасовый корпус, то процесс вскрытия представлял собой довольно сложную операцию. Фотографирование кристалла проводилось под микроскопом с увеличением не менее 80:1, а фотографии изготавливались по частям в масштабе 400:1.

2. Разбивка топологического чертежа на фрагменты. Естественно, что фрагменты зачастую соответствовали функциональным блокам схемы принципиальной электрической. Разбиение на фрагменты преследовало несколько целей: во-первых, распараллелить работы по разработке топологических решений, во-вторых, уменьшить количество информации и, в-третьих, пополнить библиотеку стандартных топологических решений. В первую очередь библиотечными блоками (фрагментами) являлись входные и выходные каскады.

Эта работа проводилась в тесном контакте со схемотехником.

3. Восстановление схем функциональной и принципиальной электрической.

4. Разработка технологических норм и правил проектирования. Для формулировки правил проектирования как производной от технологических норм необходимо было связать возможности материалов и оборудования с требованиями к электрическими характеристиками схемы. Зачастую отработка этих параметров проводилась на тестовых структурах.

5. Разработка топологических решений фрагментов.

6. Ввод данных топологии фрагментов в ЭВМ и проверка правил проектирования (перевод графической информации в цифровую).

7. Прорисовка топологии фрагментов и контроль тополога, технолога и схемотехника;

(перевод цифровой информации в графическую);

8. Трассировка схемы на основе фрагментов и проверка правил проектирования;

9. Прорисовка топологии кристалла и контроль;

10. Итерации по прорисовке (при необходимости);

11. Оформление и передача в архив исходной информации на кристалл как изделие.

На этом работа конструктора не заканчивалась – после изготовления промежуточных фотошаблонов он должен был проверить их и удостоверить своей подписью идентичность исходной информации.

В 1980-1982 годах коллектив разработчиков (Тильс А.А., Балай Б.А.,Журба С.П., Зубенко В.М., Куприец П.Ф.) сумел создать аналог схемы 16-разрядного процессора 8086 (К1810ВМ86- ОКР “Кивер1”). А в 1985 году аналог однокристальной ЭВМ 8048(ОКР “Кочан”).

Именно в лаборатории №173 была отработана методика масштабирования топологии схем аналогов с целью получения схем аналогов с повышенными характеристиками быстродействия. Помимо того, что уменьшалась длина канала полевого транзистора, уменьшалась и площадь кристалла. А это влияло на увеличение процента выхода годных.

Особенности метода заключались в том, что необходимо было сохранить параметры входных и выходных каскадов и, что особенно важно, расшить узкие места нарушения правил проектирования. Масштабированием схем серии микропроцессорного набора были получены аналоги с параметрами, удовлетворяющими генерального заказчика.

Пока шла речь о системах 8080 и 8086 КНИИМП успешно справлялась со своей задачей. Но как только фирма Intel разработала и начала выпуск 80286, а затем 80386, то отечественной промышленности оказалось не под силу выпуск аналогов этих микропроцессоров. Процент выхода составлял доли процента.

Можно утверждать, что предположение вице-президента фирмы Intel Роберта Нойса полностью оправдалось – Советский Союз в разработке и производстве современных схем микропроцессоров отстал от США навсегда.

1.3 БИС контроллеров “Средства автоматизации проектирования не являются самым ответственным фактором в проектировании СБИС.

Самый ответственный фактор это хорошая и последовательная стратегия проектирования. Вы можете потратить уйму времени и денег, и все не будет хорошей стратегии проектирования”.

Мерилл У. Бруксби, управляющий корпоративными средствами проектирования в компании Hewlett-Packard Co.

Разработка конструкции интегральной схемы состоит из выбора (определения) корпуса для изделия и построения топологии кристалла. В отличие от печатной платы, помимо несравнимо больших объемов информации, размещение и трассировка элементов схемы принципиальной электрической включает в себя и одновременное создание элементов.

Трассировка соединений выполняется в нескольких (более двух) слоях и не представляется возможным разделение слоев на сигнальные и шины “питания” («земли»).

На топологию накладываются жесткие требования к размещению контактных площадок под внешние выводы, которые уже определены расположением внешних выводов корпуса, тем более выводов “питания” и “земли”. Учитывая, что транзистор как элемент с сосредоточенными параметрами описывается в трех фотолитографических слоях, а сигнальные проводники и шины “питания” и “земли” еще как минимум в трех, то планаризация графа соединений, удовлетворяющая плотную упаковку кристалла может, быть выполнена только ручными методами очень опытными разработчиками, а процесс размещения и трассировки итерационный. Даже при разработке топологии отдельного фрагмента число итераций для достижения оптимального варианта составляло не менее 5-7.

Поэтому периодически возникает дискуссия о том, что разработка топологии это наука или искусство.

Направление создания схем для калькуляторов и контроллеров основывалось на разработке оригинальных архитектурных, схемотехнических и топологических решений.

Пионерами в этом направлении явились разработчики отдела № Сидоренко В.П., Сирота А.Я., Таякин Ю.В. и отдела №170 Шельпук Г.Д., Ткаченко Ю.И. и Жерихин А.Г. Мартыщенко В., которые совместно с разработчиками ГСКТБ г. Ленинград создали четыре БИС четырехфазной динамической логики для настольного калькулятора в НИОКР “Катамаран” в 1970-1972 годах.

В первую очередь следует отметить работы Ткаченко Ю.И. по разработке условно-графического метода проектирования топологии МОП БИС, в котором каждый транзистор, и контакт, и один шаг коммутационных слоев описывался полностью во всех слоях в своей системе координат. Описание топологии представляло собой таблицу из «0» и «1», свидетельствующих о наличии или отсутствии одного из условных символов на данном шаге топологической линейки.

БИС серии «Катамаран» - К145ЖГ1- К145ЖГ Кристалл БИС ЖГ-5 (в одной БИС объединены четыре БИС ЖГ1-4) Разработка топологического чертежа (за исключением входных/выходных каскадов) значительно упростилась, поскольку n-канальный транзистор как элемент с сосредоточенными параметрами на безусадочной основе графически представлялся как Х в узлах координатной сетки, а проводники как ортогональные линии вдоль осей координатной сетки. Собственно топология как геометрические фигуры представлялись в результате машинной обработки условно-графического чертежа.

Условно-графический метод разработки топологии был опробован на фрагментах микросхемы К145ИК2 в ОКР «Курс». Но метод оказался несостоятельным при переходе к более сложным схемотехническим и технологическим решениям.

БИС однокристального микрокалькулятора К145ИК Переход на СМП «Кулон» позволил организовать интерактивный режим разработки топологии фрагментов топологии БИС, построить библиотечные решения и упростить сшивку всей схемы..

В этом направлении не только схемотехники отдела №260 (нач.отдела Захаров В.П.) и технологи отдела №210 (начальник отдела Троценко Ю.П.), но и конструкторская группа лаборатории №174 (начальник лаборатории Шельпук Г.Д.), а затем лаборатории №173 (начальник лаборатории Тильс А.А.) привнесли в разработку схем контроллеров значительный научный вклад. Методика проектирования с применением фрагментирования и интерактивный режим отладки топологических решений была окончательно отработана на схемах К145ИК3 и К145 ИК4 в ОКР “Клерк”. Вероятно, это знаковое событие и должно было произойти при разработке инженерного калькулятора.

Обычной практикой разработки топологии БИС было создание временных творческих коллективов, поскольку, во-первых, время этого этапа крайне ограничено, а во-вторых, на последующих этапах контроля, разработки документации и т.д. количество разработчиков резко сокращалось. Одним из таких коллективов представлена группа разработчиков под руководством Мельниченко А.М., которая и провела все последующие разработки топологических проектов для схем калькуляторов и контроллеров. Под его руководством были проведены разработки топологии схем по ОКР “Клин”, “Клин К” и т.д.

1.4 Аналоговые (линейные) схемы Эти интегральные схемы специфичны как по схемотехнике, так и в технологии изготовления. Особенно это проявляется при создании прецизионных схем. Требования к конструкции, в частности, к топологии предъявляются чрезвычайно жесткие:

- требования к конфигурации транзисторов;

- взаимное расположение транзисторов на кристалле;

- отсутствие гальванической и индуктивной связи;

С ростом количества элементов в схеме значительно увеличивается возможное их взаимное влияние. Разработчик-тополог помимо хорошего владения технологией изготовления линейных схем должен, конечно же, владеть знаниями схемотехнических решений, поскольку именно он является разработчиком конструкции прибора на этапе, когда интегрируются все схемотехнические и технологические решения проекта в единое изделие. На практике навыки приходят с опытом, который приобретается во взаимодействии с разработчиками технологами и схемотехниками на всех этапах НИОКР.

Тесное взаимодействие обеспечивается и обязательствами подписания топологического чертежа и технологом и схемотехником. В этих условиях конструктор должен быть готов, как и закройщик, к многократным переделкам (итерациям) проекта.

Переход к фрагментированию, созданию библиотечных элементов на уровне транзисторов и более сложных конфигураций (вплоть до усилительных каскадов), компоновка за экраном цветного монитора несколько если не упростило проектирование, то хотя бы сделало сам процесс проектирования более комфортным. Но одновременно с этим постоянно росла и степень интеграции.

Технологически очень сложные не только в изготовлении, но и в проектировании топологии, поскольку количество слоев достигало порой 14, аналоговые схемы требовали особенного внимания при прохождении всего цикла проектирования до получения промежуточных фотошаблонов. С увеличением количества элементов на кристалле (в соответствии с законом Мура каждые два года число элементов на кристалле увеличивается вдвое) зачастую получение промежутка на фотонаборной установке превышало время бессбойной работы. В таком случае окончательный контроль проводился конструктором на компараторе при попарном совмещении промежутков.

Разнообразие технологических решений транзисторов со структурами n-p-n, p-n-p, МОП, FET, в различных сочетаниях как между собой, так и в сочетании их с другими элементами схемы, с диодами (в том числе стабилитронами), резисторами (диффузионными, ионнолегированными, тонкопленочными) с различными удельными электрическими параметрами и большим диапазоном номинальных значений, емкостями (со структурами типа МОП, либо основанными на свойствах p-n перехода, либо их комбинация).

Разработку топологии серии линейных интегральных микросхем по направлениям вели:

- многоканальные коммутаторы - Вирозуб Т.М.& Co;

- операционные усилители - Ивженко И.П.& Co ;

- аналоговые перемножители сигналов - Захаренко В.И. & Co.;

- аналоговые линии задержки;

- генераторы фазового напряжения - Вирозуб Т.М.& Co.;

- аналоговые декодеры цветности для телевизионной аппаратуры - Захаренко В.И. & Co.;

- динамические фильтры нижних частот на коммутируемых конденсаторах ;

- программируемые аналого-цифровые фильтры-корреляторы;

- фильтры для обработки телефонных сигналов в аппаратуре ИКМ-связи;

- ИС бытовой аппаратуры магнитной записи - Трофимов В.Л.& Co.

2. БИСовский забег 2.1 Каменный век нашей МОП - истории Петин Ю.А.

«Новый век всегда глядит с пренебрежением на старый».

У.Шекспир «Время старит всё, что нам казалось новым, но время также молодит деяния былые».

Рудаки Вероятно, к идее начать в своей лаборатории работы по разработке кремниевых полевых МОП - транзисторов на основе уже начавшей развиваться планарной технологии, вместо пленочных транзисторов на основе CdS и CdSe, А.А.Вдовенкова подтолкнула статья Хеймана и Хофштейна. «Да и зачем нам нюхать эти вонючие селен и серу!» - шутил Анатолий Андреевич, аргументируя своё предложение.

Кстати, отметим здесь одно интересное замечание д.т.н. Ю.Р.Носова:

«Еще на подступах к транзистору в ноябре 1947 года Дж. Бардин, пытаясь избавиться от «ловушек», изобрел простенькую структуру, в которой металлическая игла прижималась к окислу, покрывающему полупроводник. По оценкам автора, под окислом мог образоваться тонкий инверсный слой дырочной проводимости (на электронном полупроводнике), и в нем несложно было бы реализовать усиление на основе эффекта поля.



Pages:     | 1 |   ...   | 5 | 6 || 8 | 9 |   ...   | 18 |
 





 
© 2013 www.libed.ru - «Бесплатная библиотека научно-практических конференций»

Материалы этого сайта размещены для ознакомления, все права принадлежат их авторам.
Если Вы не согласны с тем, что Ваш материал размещён на этом сайте, пожалуйста, напишите нам, мы в течении 1-2 рабочих дней удалим его.